1、同时观察到左右两个物方视场的像;
2、比较头具有多种不同的可供观察状态:全部左图像,全部右图像,部分左右图像,左右图像重叠等;
3、 比较头具有右侧放大率微调补偿机构。
技术参数
◆ 工作模式:恒高模式,恒电流模式
◆ 样品尺寸:Φ≤90mm,H≤20mm
◆ 扫描范围:XY向1000nm,Z向200nm
◆ 扫描分辨率:XY向0.05nm,Z向0.01nm
◆ 样品移动范围:0~13mm
◆ 光学放大倍数4X,光学分辨率2.5um
◆ 扫描速率0.6Hz~4.34Hz,扫描角度0~360°
◆ 扫描控制:XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A
◆ 数据采样:14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样
◆ 反馈方式:DSP数字反馈
◆ 反馈采样速率:64.0KHz
◆ 通信接口:USB2.0/3.0
◆ 运行环境:WindowsXP/7/8/10操作系统