工业型原子力显微镜

工业型原子力显微镜 
FM-NanoviewLS-AFM
◆ 实现样品保持不动，探针移动扫描的原子力显微镜；
◆ 采用闭环三轴独立压电平移式扫描器，大范围高精度扫描；
◆ 样品尺寸、重量基本不受限制，特别适合集成电路晶圆等超大样品检测；
◆ 龙门架式扫描头设计，大理石底座，真空吸附式载物台；
◆ 超大行程二维电动样品移动台，快速选择感兴趣的样品区域；
◆ 高倍光学定位系统，实现探针

工业型原子力显微镜技术参数

◆ 基本工作模式：接触、轻敲、F-Z力曲线测量、RMS-Z曲线测量、摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力和静电力
◆ 选配工作模式：Profile线快速测量模式
◆ 最大样品尺寸：Φ≥300mm，H≥50mm
◆ 闭环扫描范围：XY向100um，Z向10um
◆ 闭环扫描分辨率：XY向0.2nm，Z向0.05nm
◆ 样品移动范围：300mm×300mm
◆ 辅助光学定位：10X物镜，光学分辨率1um（可选配20X，光学分辨率0.8um）
◆ 气动式减震台，减震频率0.5Hz
◆ 噪音水平：＜0.1nm
◆ 扫描速率0.6Hz~4.34Hz，扫描角度0~360°
◆ 扫描控制：XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A
◆ 数据采样：14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样
◆ 反馈方式：DSP数字反馈
◆ 反馈采样速率：64.0KHz
◆ 通信接口：USB2.0/3.0
◆ 运行环境：WindowsXP/7/8/10操作系统