产品特色:
◆ 小型化及可拆卸化设计,非常便于携带及教学
◆ 精密探针定位装置,激光光斑对准调节非常简便
◆ 自动光学定位,无需调焦,实时观测与定位探针样品扫描区域
◆ 激光检测头和样品扫描台集成一体,结构非常稳定,抗干扰性强
◆ 弹簧悬挂式防震方式,简单实用,防震效果好
◆ 单轴驱动样品自动垂直接近探针,使针尖垂直于样品扫描
◆ 马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式,保护探针及样品
◆ 集成扫描器非线性校正用户编辑器,纳米表征和测量精度优于98%
技术参数:
工作模式 | 轻敲模式、RMS-Z曲线 | 样品行程台 | 15×15mm |
选配模式 | 接触、摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力/静电力 | 光学观察 | 4X光学物镜/2.5um分辨率 |
选配力曲线 | F-Z力曲线 | 扫描速率 | 0.6Hz~30Hz |
XY扫描范围 | 20×20um,可选50×50um,100×100um | 扫描角度 | 0~360° |
Z扫描范围 | 2.5um,可选5um,10um | 运行环境 | Windows XP/7/8/10操作系统 |
扫描分辨率 | 横向0.2nm,纵向0.05nm | 通信接口 | USB2.0/3.0 |
样品尺寸 | Φ≤90mm,H≤20mm | 减震方式 | 弹簧悬挂 |