产品特色:
◆ 同时具备光学显微镜和原子力显微镜成像功能,两者可同时工作,互不影响
◆ 可同时在普通空气环境、液体环境、温度控制环境、惰性气体控制环境下工作
◆ 样品扫描台和激光检测头封闭式设计,内部可充放特殊气体,无需增加密封罩
◆ 激光检测采用了垂直光路设计,配合气液两用型探针架可在液体下工作
◆ 单轴驱动样品自动垂直接近探针,使针尖垂直于样品扫描
◆ 马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式,保护探针及样品
◆ 超高倍光学定位系统,实现探针和样品扫描区域精确定位
◆ 集成扫描器非线性校正用户编辑器,纳米表征和测量精度优于98%
技术参数:
工作模式 | 接触模式、轻敲模式 | 照明方式 | 柯勒照明系统 |
选配模式 | 摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力/静电力 | 光学调焦 | 粗微动手动调焦 |
力谱曲线 | F-Z力曲线、RMS-Z曲线 | 摄像头 | 500万像素CMOS传感器 |
工作环境 | 空气/液体、惰性气体、加热/制冷环境 | 显示屏 | 10.1寸平板显示器,带图像测量功能 |
XY扫描范围 | 50×50um,可选20×20um,100×100um | 加热装置 | 温度控制范围室温~250℃(选配) |
Z扫描范围 | 5um,可选2.5um,10um | 冷热一体台 | 温度控制范围-20℃~220℃(选配) |
扫描分辨率 | 横向0.2nm,纵向0.05nm | 扫描速率 | 0.6Hz~30Hz |
样品尺寸 | Φ≤68mm,H≤20mm | 扫描角度 | 0~360° |
样品台行程 | 25×25mm | 运行环境 | Windows XP/7/8/10操作系统 |
光学物镜 | 5X/10X/20X/50X平场复消色差物镜 | 通信接口 | USB2.0/3.0 |
光学目镜 | 10X |